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合成石英玻璃用什么原料制成的

作者:奧固鴻已有:N多人關注
合成石英玻璃以高純SiCl4或其他含硅化合物為原料。
SiCl4是無色透明液體,極易揮發(fā),有強烈的刺激性氣味,水解后生成SiO2和HCl,具有強腐蝕性。
SiCl4的物理性質和化學性質

分子量 液體相對密度 蒸發(fā)相對密度 熔點/℃ 沸點/℃ 蒸發(fā)熱/(kcal/mol) 生成熱/(kcal/mol) 標準生成自由能/(kcal/mol)
169.2 1.41 0.063 -70 57~60 2909.3 6420.5 572.2
 
注:1kcal=4.18kj
工業(yè)上SiCl4的制備實在450~500℃下,將氯氣通入含硅量大于95%~99%、粒度3~5mm的硅鐵中制得,氯氣使用前應脫水凈化處理?;瘜W反應如下:
Si+2Cl2              SiCl4
該反應為放熱反應,爐內溫度隨反應加劇而升高,故需控制氯氣流量防止反應溫度過高,溫度過高易生成Si2Cl6、Si3Cl8。反應生成的的Si2Cl4蒸氣流入冷凝器,冷卻成液體Si2Cl4流入貯罐備用。
SiCl4的另一個來源是綜合利用半導體工業(yè)制造多晶硅的廢料——SiHCl3的高沸點殘液,其中主要成分為SiCl4,約占70%。
以上方法制備的SiCl4中通常含有大量雜志氯化物。由于石英玻璃的純度主要取決于原料純度,因此SiCl4純度對合成石英的質量至關重要。提純SiCl4的方法很多,有精餾、故土吸附、萃取、部分水解、絡合等。目前國內多采用精餾提純,即利用SiCl4與雜質氯化物的沸點不同,進行分餾而制取高純SiCl4。SiCl4原料中各種氯化物的沸點示于下表:

組分 沸點/℃ 組分 沸點/℃
SiHCl
SiH2Cl2
BCl3
SiHCl3
SiH4
PCl3
CCl4
POCl3
-30.4
8.3
13
31.5
-111.8
76
77
108.3
SnCl4
CrO2Cl2
VOCl3
AsCl3
TiCl4
PCl5
AlCl3
其他金屬雜志氯化物
113
116.7
127
130
136
160
180(升華)
>200
分餾提純多采用填料塔和篩板塔,為避免塔體對產品的污染,最好采用石英玻璃制作塔體。篩板塔內有上百層篩板,每一層篩板相當于一次蒸餾,經過上百層篩板蒸發(fā)、冷凝、氣液交換將SiCl4分離出來,把不同沸點的雜質氯化物分離出去,制得的SiCl4純度可達1*10-9。精餾操作過程中必須嚴格控制全回流時間、電壓、塔釜和塔頂溫度、出低沸點時間等參數(shù)。

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