SiCl4是無色透明液體,極易揮發(fā),有強烈的刺激性氣味,水解后生成SiO2和HCl,具有強腐蝕性。
SiCl4的物理性質和化學性質
分子量 | 液體相對密度 | 蒸發(fā)相對密度 | 熔點/℃ | 沸點/℃ | 蒸發(fā)熱/(kcal/mol) | 生成熱/(kcal/mol) | 標準生成自由能/(kcal/mol) |
169.2 | 1.41 | 0.063 | -70 | 57~60 | 2909.3 | 6420.5 | 572.2 |
注:1kcal=4.18kj
工業(yè)上SiCl4的制備實在450~500℃下,將氯氣通入含硅量大于95%~99%、粒度3~5mm的硅鐵中制得,氯氣使用前應脫水凈化處理?;瘜W反應如下:
Si+2Cl2 SiCl4
該反應為放熱反應,爐內溫度隨反應加劇而升高,故需控制氯氣流量防止反應溫度過高,溫度過高易生成Si2Cl6、Si3Cl8。反應生成的的Si2Cl4蒸氣流入冷凝器,冷卻成液體Si2Cl4流入貯罐備用。
SiCl4的另一個來源是綜合利用半導體工業(yè)制造多晶硅的廢料——SiHCl3的高沸點殘液,其中主要成分為SiCl4,約占70%。
以上方法制備的SiCl4中通常含有大量雜志氯化物。由于石英玻璃的純度主要取決于原料純度,因此SiCl4純度對合成石英的質量至關重要。提純SiCl4的方法很多,有精餾、故土吸附、萃取、部分水解、絡合等。目前國內多采用精餾提純,即利用SiCl4與雜質氯化物的沸點不同,進行分餾而制取高純SiCl4。SiCl4原料中各種氯化物的沸點示于下表:
組分 | 沸點/℃ | 組分 | 沸點/℃ |
SiHCl SiH2Cl2 BCl3 SiHCl3 SiH4 PCl3 CCl4 POCl3 |
-30.4 8.3 13 31.5 -111.8 76 77 108.3 |
SnCl4 CrO2Cl2 VOCl3 AsCl3 TiCl4 PCl5 AlCl3 其他金屬雜志氯化物 |
113 116.7 127 130 136 160 180(升華) >200 |
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